דער פיזישער סינטעז פּראָצעס פון צינק סעלעניד כולל דער הויפּט די פאלגענדע טעכנישע רוטעס און דיטיילד פּאַראַמעטערס

1. סאָלוואָטהערמאַל סינטעז

1. רוימאַטעריאַל פאַרהעלטעניש‌
צינק פּודער און סעלעניום פּודער ווערן געמישט אין אַ 1:1 מאָלאַר פאַרהעלטעניש, און דעיאָניזירט וואַסער אָדער עטאַלין גליקאָל ווערט צוגעגעבן ווי די סאָלווענט מעדיום 35.

2.רעאַקציע באדינגונגען

רעאַקציע טעמפּעראַטור: 180-220°C

רעאַקציע צייט: 12-24 שעה

דרוק: אויפהאלטן דעם זעלבסט-גענערירטן דרוק אין דעם פארמאכטן רעאקציע קעסל
די דירעקטע קאָמבינאַציע פֿון צינק און סעלעניום ווערט ערמעגליכט דורך הייצן צו שאַפֿן נאַנאָסקאַלע צינק סעלעניד קריסטאַלן 35.

3.נאָך-באַהאַנדלונג פּראָצעס‌
נאך דער רעאקציע, איז עס סענטריפוגירט געווארן, געוואשן מיט פארדיןטן אמאניע (80 °C), מעטאנאל, און וואקיום געטריקנט (120 °C, P₂O₅).בטיןא פּודער > 99.9% ריינקייט 13.

2. כעמישע פארע דעפאזיציע מעטאד

1.רוי מאַטעריאַל פאָרבאַהאַנדלונג

די ריינקייט פון די צינק רוי מאַטעריאַל איז ≥ 99.99% און געשטעלט אין אַ גראַפיט קרוציבל

הידראָגען סעלעניד גאַז ווערט טראַנספּאָרטירט דורך אַרגאָן גאַז טראָגן6.

2.טעמפּעראַטור קאָנטראָל

o צינק פארדאַמפּונג זאָנע: 850-900°C

o דעפּאַזישאַן זאָנע: 450-500°C
ריכטונגס-אפזעצונג פון צינק פארע און וואסערשטאף סעלעניד דורך טעמפעראטור גראדיענט 6.

3.גאַז פּאַראַמעטערס

o אַרגאָן פלוס: 5-10 ל/מינוט

טיילווייזער דרוק פון וואַסערשטאָף סעלעניד:0.1-0.3 אַטם
דעפאזיציע ראטעס קענען דערגרייכן 0.5-1.2 מ״מ/שעה, וואס רעזולטירט אין דער פארמאציע פון ​​60-100 מ״מ דיקן פאליקריסטאלינע צינק סעלעניד 6.

3. סאָליד-פאַזע דירעקט סינטעז מעטאָד

1. רוימאַטעריאַל האַנדלינג‌
די צינק כלאָריד לייזונג איז רעאַגירט געוואָרן מיט דער אָקסאַליק זויער לייזונג צו שאַפֿן אַ צינק אָקסאַלאַט אָפּזאַץ, וואָס איז געטריקנט און צעמאָלן און געמישט געוואָרן מיט סעלעניום פּודער אין אַ פּראָפּאָרציע פֿון 1:1.05 מאָלאַר 4..

2.טערמישע רעאַקציע פּאַראַמעטערס

o וואַקוום רער אויוון טעמפּעראַטור: 600-650°C

o האַלטן וואַרעם צייט: 4-6 שעה
צינק סעלעניד פּודער מיט אַ פּאַרטיקל גרייס פון 2-10 מיקראָמעטער ווערט גענערירט דורך סאָליד-פאַזע דיפיוזשאַן רעאַקציע 4.

פאַרגלייַך פון שליסל פּראָצעסן

שליסל פונקטן פון ספּעציעלער פּראָצעס קאָנטראָל: די סאָלוואָטהערמאַל מעטאָדע דאַרף צו לייגן סורפאַקטאַנץ ווי אָלעיק זויער צו רעגולירן די מאָרפאָלאָגיע 5, און די פארע דעפּאַזישאַן ריקווייערז אַז די סאַבסטראַט ראַפנאַס זאָל זיין < Ra20 צו ענשור די יונאַפאָרמאַטי פון דעפּאַזישאַן 6.

1. פיזישע פארע דעפאזיציע (פּי-די-ווי-די).

1.טעכנאָלאָגיע דרך

o צינק סעלעניד רוי מאַטעריאַל ווערט פארדאַמפּפט אין אַ וואַקוום סביבה און דעפּאָנירט אויף דער סאַבסטראַט ייבערפלאַך ניצנדיק ספּאַטערינג אָדער טערמישע פארדאַמפּונג טעכנאָלאָגיע12.

די פארדאַמפּונג קוועלער פון צינק און סעלעניום ווערן געהייצט צו פֿאַרשידענע טעמפּעראַטור גראַדיענטן (צינק פארדאַמפּונג זאָנע: 800–850 °C, סעלעניום פארדאַמפּונג זאָנע: 450–500 °C), און די סטאָיכיאָמעטרישע פאַרהעלטעניש ווערט קאָנטראָלירט דורך קאָנטראָלירן די פארדאַמפּונג קורס.‌12.

2.פּאַראַמעטער קאָנטראָל

וואַקוום: ≤1×10⁻³ פּאַ

באַזאַלע טעמפּעראַטור: 200–400°C

o דעפּאַזישאַן קורס:0.2–1.0 נאַנאָמעטער/סעק.
צינק סעלעניד פילמען מיט א גרעב פון 50-500 נאַנאָמעטער קענען צוגעגרייט ווערן פֿאַר נוצן אין אינפֿראַרויט אָפּטיק 25.

2מעכאנישע קוגל מילינג מעטאָדע

1.רוי מאַטעריאַל האַנדלינג

o צינק פּודער (ריינקייט ≥99.9%) ווערט געמישט מיט סעלעניום פּודער אין אַ 1:1 מאָלאַר פאַרהעלטעניש און אַריינגעלייגט אין אַ נישט-ראַסטיק שטאָל קוגל מיל גלעזל 23.

2.פּראָצעס פּאַראַמעטערס

o באַל מאָלן צייט: 10–20 שעה

גיכקייט: 300–500 רפּם

o פּעלעט פאַרהעלטעניש: 10:1 (זירקאָניע מאָלן באַללס).
צינק סעלעניד נאַנאָפּאַרטיקלען מיט אַ פּאַרטיקל גרייס פון 50-200 נם זענען גענערירט געוואָרן דורך מעכאַנישע צומיש רעאַקציעס, מיט אַ ריינקייט פון >99% 23.

3. הייס דרינגענדיק סינטערינג מעטאָד

1.פאָרגייער צוגרייטונג

o צינק סעלעניד נאַנאָפּודער (פּאַרטיקל גרייס < 100 נם) סינטעזירט דורך סאָלוואָטהערמאַל מעטאָד ווי רוי מאַטעריאַל 4.

2.סינטערינג פּאַראַמעטערס

טעמפּעראַטור: 800–1000°C

דרוק: 30–50 MPa

האַלטן וואַרעם: 2–4 שעה
דער פּראָדוקט האט אַ געדיכטקייט פון > 98% און קען ווערן פּראַסעסט אין גרויס-פאָרמאַט אָפּטישע קאָמפּאָנענטן ווי אינפֿראַרויט פֿענצטער אָדער לענסעס 45.

4. מאָלעקולאַרע שטראַל עפּיטאַקסי (MBE).

1.אולטרא-הויך וואַקוום סביבה

וואַקוום: ≤1×10⁻⁷ פּאַ

די צינק און סעלעניום מאָלעקולאַרע שטראַלן קאָנטראָלירן פּינקטלעך דעם פלוס דורך די עלעקטראָן שטראַל פארדאַמפּונג מקור6.

2.וואוקס פּאַראַמעטערס

o באַזע טעמפּעראַטור: 300–500°C (GaAs אָדער סאַפייער סאַבסטראַטן ווערן געוויינטלעך געניצט).

וואוקס ראטע:0.1–0.5 נאַנאָמעטער/סעק.
איין-קריסטאַל צינק סעלעניד דין פילמען קענען צוגעגרייט ווערן אין די גרעב קייט פון 0.1-5 μm פֿאַר הויך-פּינקטלעכקייט אָפּטאָעלעקטראָניק דעוויסעס56.